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近紅外光(NIR)賦能硅片厚度測量
2025-08-13

在半導體制造的精密世界里,硅片膜層厚度的微小偏差都可能導致器件性能衰減甚至失效。傳統接觸式測量方法因易劃傷晶圓表面、無法實時監測等問題,逐漸被非接觸式技術取代。近紅外光(NIR)憑借其特殊的物理特性,成為硅片厚度測量儀的核心光源,為芯片制造...

  • 2025-08-05

    動態激光干涉儀作為現代精密測量領域的儀器,其核心技術體系融合了光學、電子學和計算機科學的創新成果。該系統通過激光干涉原理實現納米級動態測量,在半導體制造、精密光學和超精密加工等領域具有不可替代的作用。一、核心測量原理基于遜干涉儀的光路架構,采用頻率穩定的氦氖激光源(波長632.8nm),通過分束鏡產生參考光和測量光。當測量光經運動目標反射后與參考光干涉,形成的明暗條紋變化被高靈敏度光電探測器捕獲。位移量計算公式為:ΔL=N×λ/2其中N為條紋計數,λ為激光波長。采用四象限探測...

  • 2025-08-01

    在工業設備減振領域,減振臺座的高度設計常被視為"隱形調節閥",其微小變動可能引發系統減振性能的連鎖反應。通過解析臺座高度與振動傳遞路徑、固有頻率、結構穩定性的動態關系,可揭示這一參數在低頻振動控制中的核心價值。一、高度與振動能量的博弈法則當臺座高度從常規的150mm增至300mm時,振動傳遞路徑長度增加1倍,能量衰減效率提升約15%。這種物理優勢在低頻振動場景中尤為顯著:某石化企業離心泵項目中,通過將臺座高度從設備高度的1/10調整至1/6,成功將10Hz以下振動幅值降低22...

  • 2025-07-29

    在半導體芯片制造、柔性顯示面板生產、新能源電池封裝等高級制造領域,薄膜厚度的均勻性是決定產品性能與良率的核心指標。傳統測量方法受限于機械定位速度與單點檢測模式,難以滿足現代產線對"實時、全域、高速"的質量控制需求。而新一代自動化厚度測量儀憑借每秒兩個點的測繪能力,以"動態掃描"替代"靜態抽檢",正在掀起一場薄膜檢測技術的效率革命。一、極速測繪:技術突破的底層邏輯每秒雙點測繪的實現,源于多維度技術協同創新:1.并行檢測架構:采用雙探頭陣列或分時復用技術,在機械臂移動間隙完成數據...

  • 2025-07-27

    在半導體制造、光學鍍膜、新能源材料等精密工業領域,薄膜厚度的均勻性與精確性直接決定了產品性能與良率。傳統薄膜厚度測量依賴手動定位或固定點檢測,存在效率低、數據覆蓋不全、人為誤差大等痛點。而搭載電動R-Theta平臺的薄膜厚度測量儀,通過極坐標自動化掃描與高精度定位,實現了從“單點抽檢”到“全域測繪”的跨越,為工業質量控制提供了革命性解決方案。一、R-Theta平臺:極坐標掃描的精密之基電動R-Theta平臺由旋轉(Theta)與徑向移動(R)雙軸構成,可模擬極坐標系下的精準運...

  • 2025-07-24

    在半導體制造與微電子領域,晶圓表面涂層厚度的精確控制直接決定了器件性能與良率。傳統膜厚測量方法依賴人工取樣或離線檢測,存在效率低、破壞性、數據片面性等痛點。而光學膜厚儀憑借其非接觸、高精度、全自動化測繪能力,已成為晶圓涂層厚度檢測的核心工具,推動行業向智能化、高效化轉型。1.技術原理:干涉光譜解碼薄膜厚度光學膜厚儀的核心技術基于光的干涉與反射原理。當寬帶白光垂直入射至晶圓涂層時,光線在涂層表面與基底界面分別反射,兩束反射光因光程差產生干涉現象。通過分光儀捕捉干涉光譜,儀器可解...

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